檢測范圍 1000*700*500 mm 重復精度 0.001 mm
檢測范圍 400*300*200 mm 檢測精度 0.001 mm
解析度 <180ev 探測器 高性能高分辨Si-Pin x探測器
試驗力 1471N
測量范圍 20~88
誤差范圍 ±1.5
測量長度 1000mm
平行方向精度 ≤10μm
垂直方向精度 ≤8μm
測量范圍 0.005~16μm
分辨率 0.001μm
示值誤差 ≤±10%
誤差 ±4μm
分辨率 0.01mm
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