檢測范圍                          1000*700*500 mm
重復精度                          0.001 mm

檢測范圍                       400*300*200 mm
檢測精度                       0.001 mm

解析度                             <180ev
探測器                             高性能高分辨Si-Pin x探測器

試驗力                              1471N

測量范圍                          20~88

誤差范圍                          ±1.5

測量長度                             1000mm

平行方向精度                      ≤10μm

垂直方向精度                      ≤8μm

測量范圍                        0.005~16μm

分辨率                            0.001μm

示值誤差                         ≤±10%

誤差                           ±4μm

分辨率                       0.01mm